Моделирование условий очистки и процесса выращивания полупроводниковых монокристаллов методом зонной плавки
DOI:
https://doi.org/10.32603/2071-2340-2022-2-19-31Ключевые слова:
метод зонной плавки, метод зонной очистки, метод целевой загрузки, распределение примеси, полупроводниковый монокристалл, среда программирования LabVIEWАннотация
Работа посвящена созданию виртуального прибора в среде LabVIEW, позволяющего моделировать процесс зонной плавки в зависимости от технологических параметров. Рассматриваются методы очистки и выращивания монокристаллов путем медленного перемещения узкой зоны расплава по длине поликристаллического слитка твердого материала, в результате чего благодаря перекристаллизации происходит перераспределение примесей, растворенных в слитке. Окончательное распределение примесей зависит от их первоначального распределения, числа и ширины зон расплава и направления их движения. Виртуальный прибор предназначен для использования студентами и преподавателями в условиях дистанционного обучения и в очном режиме.
Библиографические ссылки
A. M. Tsirlin, I. A. Sukin, I. N. Grigorevskii, and I. O. Starodumov, “Thermodynamic Analysis of Zone Melting,” Journal of Engineering Physics and Thermophysics, vol. 95, no. 1, pp. 1–8, 2022; doi: 10.1007/s10891-022-02450-w
O. E. Kozhevnikov, M. M. Pylypenko, A. P. Shcherban, О. А. Datsenko, V. M. Pelykh, and V. D. Virych, “The refining of titanium by crucibleless zone melting method,” Problems of Atomic Science and Technology, no. 5(135), pp. 70–76, 2021; doi: 10.46813/2021-135-070
H. Wan, L. Kong, B. Yang, B. Xu, M. Duan, and Y. Dai, “Zone melting under vacuum purification method for high-purity aluminum,” Journal of Materials Research and Technology, vol. 17, pp. 802–808, 2022; doi: 10.1016/j.jmrt.2022.01.010
D. D. Avrov, O. A. Aleksandrova, A. O. Lebedev, et al., Tekhnologiya materialov mikroelektroniki: ot mineral’nogo syr’ya k monokristallu: ucheb. posobie, St. Petersburg, Russia: Izd-vo SPbGETU “LETI”, 2017 (in Russian).
K. V. Sukhoruchenkov, E. V. Maraeva, and O. A. Alexandrova, “Simulation of the Process of Growing Semiconductor Single Crystals by the Czochralski Method,” Computer tools in education, no. 4, pp. 99–108, 2021 (in Russian); doi: 10.32603/2071-2340-2021-4-99-108
J. Travis, LabVIEW for edition – Prentice Hall, Мoscow: DMK Press; PriborKomplekt, 2005 (in Russian).
N. A. Lashkova, N. V. Permiakov, A. I. Maximov, Yu. M. Spivak, and V. A. Moshnikov, “Local Analysis Of Semiconductor Nanoobjects By Scanning Tunneling atomic Force Microscopy,” St. Petersburg Polytechnic University Journal - Physics and Mathematics, no. 213, pp. 31–42, 2015 (in Russian); doi: 10.5862/JPM.213.3
L. Matyushkin, “Software For Absorption And Luminescence Spectra reseach Of Quantum-sized Nanostructures,” Tekhnicheskie nauki — ot teorii k praktike, no. 24, pp. 154–158, 2013 (in Russian).
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Материал публикуется под лицензией:
