Моделирование процесса выращивания полупроводниковых монокристаллов методом Чохральского - Сухорученков, Кирилл Владиславович; Мараева, Евгения Владимировна; Александрова, Ольга Анатольевна (Компьютерные инструменты в образовании, 2021)
Работа посвящена созданию виртуального прибора в среде LabVIEW, позволяющего моделировать процесс выращивания кристалла в зависимости от технологических параметров. В качестве рассматриваемого технологического процесса выбран метод выращивания монокристаллов путем вытягивания их вверх со свободной поверхности большого объема расплава с инициированием начала кристаллизации путем внесения затравочного кристалла (или нескольких кристаллов) заданной структуры и кристаллографической ориентации, находящегося в контакте со свободнойповерхностью расплава (метод Чохральского). Виртуальный прибор предназначен для использования студентами и преподавателями в очном режиме и в условиях дистанционного обучения.
Keywords: метод Чохральского, полупроводниковый монокристалл, среда программирования LabVIEW, уравнение электронейтральности